STEM透射電鏡是一種高分辨率的透射電子顯微鏡,主要用于觀察樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和原子級(jí)別的細(xì)節(jié)。它由多個(gè)關(guān)鍵部件組成,每個(gè)部件都起著重要的作用,下面將介紹STEM透射電鏡的主要構(gòu)成部件:
1.電子槍:電子槍是其核心組件,負(fù)責(zé)產(chǎn)生高能量的電子束。電子槍通常包括熱陰極和加速器,通過(guò)加熱陰極產(chǎn)生電子,并通過(guò)加速器加速電子束,最終形成高速的電子束用于照射樣品。
2.透鏡系統(tǒng):透鏡系統(tǒng)包括對(duì)焦透鏡、準(zhǔn)直透鏡等,用于聚焦和控制電子束的路徑。透鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和調(diào)節(jié)對(duì)于成像的清晰度和分辨率至關(guān)重要。
3.樣品臺(tái):樣品臺(tái)用于支撐和定位待觀察的樣品。在STEM透射電鏡中,樣品臺(tái)通常具有多個(gè)軸向運(yùn)動(dòng)自由度,可以調(diào)整樣品的位置和角度,以便在不同方向上觀察樣品。
4.探測(cè)器:通常配備多種類型的探測(cè)器,用于接收和探測(cè)透射電子束經(jīng)過(guò)樣品后的信號(hào)。包括傳統(tǒng)的透射探測(cè)器、高角度安排探測(cè)器等,不同類型的探測(cè)器可以用于獲取不同類型的信息,比如高分辨率成像、能譜分析等。
5.顯示和控制系統(tǒng):通常配備先進(jìn)的顯示和控制系統(tǒng),用于實(shí)時(shí)顯示成像結(jié)果、控制儀器參數(shù)、采集數(shù)據(jù)等。通過(guò)這些系統(tǒng),操作員可以實(shí)時(shí)監(jiān)控成像過(guò)程,調(diào)整儀器參數(shù),以獲得最佳的成像效果。
6.計(jì)算機(jī)系統(tǒng):操作和數(shù)據(jù)處理通常借助計(jì)算機(jī)系統(tǒng)完成。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)用于控制儀器的運(yùn)行、采集和處理成像數(shù)據(jù)、進(jìn)行圖像分析等,極大地提高了操作的便捷性和數(shù)據(jù)處理的效率。
以上是STEM透射電鏡的主要構(gòu)成部件,每個(gè)部件都發(fā)揮著重要的作用,共同構(gòu)成了一臺(tái)高分辨率的透射電子顯微鏡。它在材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值,為研究人員提供了強(qiáng)大的工具來(lái)探究微觀世界的奧秘。