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氬離子研磨系統(tǒng)

氬離子研磨系統(tǒng)

  • 訪問量:2652
  • 更新日期:2023-03-20
  • 產(chǎn)品介紹:CleanMill氬離子研磨系統(tǒng)為電池樣品SEM表征提供高質(zhì)量的制樣方案,傳統(tǒng)的機(jī)械研磨方式制備樣品斷面,斷面不可避免的存在機(jī)械損傷和磨料嵌入樣品引起的污染。使用氬離子束切割樣品制備,可以制備出沒有機(jī)械損傷和表面污染的平整斷面,非常適用于 制備電池材料和部件的斷面樣品,從而進(jìn)行掃 描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)表征分析。
  • 廠商性質(zhì):代理商

產(chǎn)品介紹

品牌Thermofisher Scientific/賽默飛世爾價格區(qū)間100萬-200萬
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,航天,汽車,綜合

CleanMill氬離子研磨系統(tǒng)傳統(tǒng)的機(jī)械研磨方式制備樣品斷面,斷面不可避免的存在機(jī)械損傷和磨料嵌入樣品引起的污染。使用氬離子束切割樣品制備,可以制備出沒有機(jī)械損傷和表面污染的平整斷面,非常適用于 制備電池材料和部件的斷面樣品,從而進(jìn)行掃 描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)表征分析。Thermo Scientific CleanMillTM 為電池斷面樣品提供了完善的氬離子束研磨方案,可實現(xiàn)對電子束敏感材料和空氣敏感材料本真狀態(tài)下的SEM成像和表征分析。

 

Thermo  Scientific CleanMillTM 氬離子束斷面研磨系統(tǒng)(BIB-CP)旨在為精確的表征提供優(yōu)質(zhì)高效的樣品制備方案。其標(biāo)配的 16 keV 超高能離子源在保證研磨質(zhì)量下具有更強(qiáng)的濺射能力和更高的研磨效率。同時,低能量離子源可實現(xiàn)對具有精細(xì)結(jié)構(gòu)和易受離子束輻照損傷樣品的無損精拋和清潔。

 

CleanMill氬離子研磨系統(tǒng),諸多電池材料和部件具備電子束敏感和空氣敏感的特性。Thermo Scientific CleanMillTM 與 CleanConnectTM 兼容,使得 Thermo Scientific IGST 工作流程完善。CleanConnect 樣品轉(zhuǎn)移系 統(tǒng)提供了一套集成化解決方案,允許樣品在惰性氣體 / 真空下快速轉(zhuǎn)移至電子顯微鏡樣品倉內(nèi)。這種真空聯(lián)鎖解決方案采用直徑達(dá) 25mm 的標(biāo)準(zhǔn)樣品臺,極大地簡化了不同樣品在 SEM/DualBeam 系統(tǒng)轉(zhuǎn)移的工作。樣品可在手套箱內(nèi)裝載至 CleanConnect 樣品倉內(nèi),進(jìn)而通過 CleanConnect 轉(zhuǎn)移至 CleanMill 中進(jìn)行斷面樣品制備。隨后,將CleanMill中制備好的 斷面樣品采用CleanConnect 轉(zhuǎn)移至 Thermo Scientific SEM 中進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)表征。整個過程中樣品都處于惰性氣體保護(hù)狀態(tài)以保證其斷面完整性。該工作流程極大地簡化了樣品轉(zhuǎn)移工作,提高 了結(jié)果獲取速度,實現(xiàn)了在本真狀態(tài)下對空氣敏感材料的結(jié)構(gòu)表征。

 

關(guān)鍵優(yōu)勢 

•高能量離子槍可實現(xiàn)快速研磨和拋光

•采用專用90°樣品臺制備截面樣品

•自動化參數(shù)設(shè)置和操作,可實現(xiàn)樣品旋轉(zhuǎn)和擺動操作

•可進(jìn)行空氣敏感材料的樣品制備,使得賽默飛惰性氣體樣品轉(zhuǎn)移工作流程(IGST)更為完善

•配備高分辨CMOS相機(jī)和觸控屏,可實時觀察樣品研磨過程

•可選配低能量離子槍,實現(xiàn)對具有精細(xì)結(jié)構(gòu)和易受輻照損傷樣品的 無損精拋和清潔。

•可選配冷臺,在進(jìn)行電子束敏感樣品的冷凍研磨時可實現(xiàn)自動液氮加注

 

 

Thermo Scientific CleanMill 與 CleanConnect 和全套 IGST 工作流程兼容,實現(xiàn)對空氣敏感材料在本真狀態(tài)下的表征分析。

規(guī)格參數(shù) 

離子槍選擇

標(biāo)配超高能量離子槍,加速電壓連續(xù)可調(diào)

• 2 – 16 keV

• 離子束電流范圍:20 – 500 A

• 濺射速率:> 500 m/hr

• 選配低能量離子槍

• 加速電壓:100 eV – 2 keV

• 自動化的離子源設(shè)置

成像系統(tǒng)

帶有固定X10放大功能的高分辨CMOS相機(jī),其數(shù)字放大功能可實 現(xiàn)連續(xù)調(diào)至X120

樣品臺 

樣品傾斜:0°到180°,0.1°增量 樣品旋轉(zhuǎn):面內(nèi)旋轉(zhuǎn) 360°

樣品擺動:面內(nèi)搖擺,從±1°到 ±180°,1°/步

樣品托種類和可承載尺寸 

標(biāo)準(zhǔn)型表面拋光樣品托

•承載樣品尺寸?30 mm x 15 mm CleanConnect兼容樣品托:

•表面拋光

o承載樣品尺寸?28 mm x 3 mm

o可互換樣品托可承載樣品尺寸?20.5 mm x 8.5 mm

•截面拋光

o 90° 樣品托:承載樣品尺寸 10 mm (長) x 10 mm (寬) x 3 mm (高)

真空系統(tǒng)

•無油隔膜泵和渦輪分子泵,帶(皮拉尼/潘寧)真空計

氣體供應(yīng)體統(tǒng)

•氬氣 (純度99.999%)

•高精度氣體流量控制系統(tǒng)

計算機(jī)控制系統(tǒng)

•易操作的觸控屏圖形用戶界面(Touch GUI)

o 系統(tǒng)設(shè)置

o 研磨參數(shù)設(shè)置

o 操作控制

• Touch GUI采用Windows 11系統(tǒng)

可選配件

• 帶有自動加注功能的液氮制冷臺,可實現(xiàn)無間斷冷凍磨拋

• 樣品調(diào)節(jié)定位裝置

• 其他備件和易耗損件

• 適用于可加載CleanConnect的手套箱端口裝置

保修和培訓(xùn)

• 1年保修

• 設(shè)計簡化,僅需簡單培訓(xùn)

• 包含使用說明的用戶手冊

安裝要求

• 預(yù)留安裝端口 (其他附件不能共用此端口)

• 環(huán)境:與普通顯微鏡的要求相同,見預(yù)安裝手冊

• 儀器右側(cè)必須留有足夠空間,以便使用CleanConnect轉(zhuǎn)移桿

• 系統(tǒng)尺寸: 70 cm (寬) x 70 cm (深) x 61 cm (高)

 

由CleanMill制備的NMC陰極極片截面,采用Apreo 2S成像


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