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技術(shù)文章

掃描電鏡顯微鏡樣品處理的要求有哪些?

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  掃描電鏡顯微鏡是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學(xué)儀器,被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。如圖1所示,是掃描電子顯微鏡的外觀圖。
 
  掃描電鏡顯微鏡對掃描樣本的要求,主要包括以下幾個方面:
 
  1、形貌形態(tài),必須耐高真空
 
  例如有些含水量很大的細(xì)胞,在真空中很快被抽干水分,細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變,無法對各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分。
 
  2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物
 
  油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?,對真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量;碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散;碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。
 
  3、樣品必須為干燥
 
  水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā),從而極大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而增大色差,降低分辨能力。
 
  4、樣品表面必需導(dǎo)電
 
  在大多數(shù)情況下,初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子必須導(dǎo)入地下,即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。

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